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        AFM

        • 產(chǎn)品介紹

            使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù),可用來(lái)測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點(diǎn)定位系統和無(wú)需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數據處理能力。

          技術(shù)參數
          • 樣品臺直徑:210mm  
          • 樣品厚度:最大為10 mm 
          • 樣品尺寸:≤40 mm
          • 掃描范圍 :XY方向80μm×80μm,Z方向5μm 
          • 分辨率:0.1nm  
          • Z閉環(huán)噪音:<30pm

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